随着精密仪器制造业的发展,人们对于工业生产测量的要求越来越高,希望能够生产出具有精度高、适应性强、实时无损检测等特性的测量系统。普密斯新品点光谱共焦测量显微系统使这些问题得到了解决。 【产品介绍】 普密斯点光谱共焦测量显微系统是一种可达次级微米级的非接触式量测系统,可以实现显微成像与同轴光谱高速对焦。 可用于高度、平面度、轮廓度、厚度、段差等Z轴方向高精度测量。 【产品特点】 1. 物镜可以选用独立接口,也可以选用6孔鼻轮模组连接; 2. 对国内外主流物镜均可适配; 3. 光谱共焦模块结构简洁,测量精度高、速度快; 4. 最适合对观测面反射率高的表面使用,对透明物体表面同样适用; 5. 光谱共焦模块测量与主成像光路共轴,不存在遮挡问题,且对焦检测光斑小,可以对槽、孔、凹坑等区域精准测量; 6. 支持微分干涉观测方式; 7. 可以与运动控制单元整合实现高速精准对焦。 【应用案例】 【产品参数】 【尺寸图】
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