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精密视觉检测之半导体硅片尺寸测量
2022.06.24

     半导体硅片是制作芯片的核心材料,贯穿了芯片制作的全过程,硅片的品质影响到芯片的性能,因此对于其产品特征的相关尺寸精度要求很高。

 

 

     检测方案:

 

     IMAGE3图像尺寸测量仪搭配双2000万像素工业相机及高倍率远心光学镜头,可以高精度、高效率地完成硅片的长、宽、距离、垂直度等尺寸测量。

 

 

 

 

     检测过程:

 

     将产品放置于载物台上,调入编写好的测量程序,按下启动键,程序即可自动运行,对产品进行精准定位、自动调整焦距、自动识别产品测量部位,几秒钟即可出结果。测量结束后按照客户要求输出长宽、距离、垂直度等数据,自动判断数据是否符合要求,方便质检人员快速查看是否合格。

 

 

 

     检测效果图:

 

 

 

 

     方案优势:

 

     1.放置后仅按一键即可测量,1秒钟可测100个部位,大量节省时间,可搭配客户IO信号实现全自动测量;

 

     2.搭配自主强大的AI边缘计算算法轻松实现表面精确寻边,边界杂点过滤无效区域;

 

     3.搭配自动定位、自动对焦、自动测量功能,任何人测量都能获取准确一致的结果。

 

 

 

     普密斯图像尺寸测量仪拥有快速精准的测量能力,满足半导体精密零部件的制造要求。在手机、五金件、塑胶件、手表、玻璃等行业也应用广泛。


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