伴随着半导体工业生产规模性集成电路设计的普及化，产业链内对生产量的标准和产品质量的需求猛增。在务必减少生产效率成本费的条件下，机器视觉技术充分发挥着必不可少的功效。机器视觉系统由工业镜头、工业相机、视觉光源、图像处理系统等组成，其中视觉光源起着关键性的作用，市面上视觉光源有多种类型，半导体检测有多个项目，每个项目中选用的光源也不尽相同，本文就介绍视觉光源在半导体检测中的应用及选型。

     1.选用同轴光源检测晶圆字符：因为晶圆会反光，同轴光源可以对反光平面成像均匀；同轴光源亮度高，可以兼容二维码、字符等多种特征识别；同轴光路垂直性好，对表面检测更具优势。

     2.选用组合光源完成晶圆视觉对位：利用圆顶光源凸显定位特征点，使用同轴光源补光，充分解决暗影区，组合光源的均匀性好，结构架设方便。

     3.使用高亮点光源完成芯片测量：高亮度、高均匀性、高性价比，清晰呈现芯片轮廓。

     4.多角度环形光源完成电阻缺陷分类：电阻小，缺陷位置不确定，使用多色可以清晰识别缺陷位置，并且结构设计紧凑，易于安装。

     普密斯是一家机器视觉及工业自动化核心产品供应商，产品包括多种型号工业镜头、工业相机、视觉光源、显微镜、图像测量仪等，不仅可以为半导体行业提供视觉检测方案，对于汽车、五金、手机、电子等多个领域都可以提供表面视觉检测及精密尺寸测量解决方案。