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激光自动对焦显微检测芯片的原理
2024.08.23

芯片检测是一个非常复杂的视觉工程,普密斯Focus激光自动对焦显微系统结构紧凑,将半导体激光器,光学系统高速信号处理模块、激光控制、运动控制,以及软件算法集于一体,能高精度,高效率对芯片进行检测,并能集成到客户方案和设备中,而Focus激光自动对焦显微系统检测芯片的原理主要基于激光测距和自动对焦技术,接下来我们来详细看看:

 

 

激光测距:


Focus激光自动对焦显微系统首先发射一束激光到芯片表面。激光接触到芯片表面后,部分光会反射回来。系统通过测量激光从发射到接收反射光的时间差,结合光速,可以计算出激光与芯片表面之间的距离。这个距离信息对于确定镜头的对焦位置至关重要。
 


自动对焦技术:


自动对焦技术用于实时调整镜头的位置,以确保芯片表面处于最佳的聚焦状态。当激光测距获得芯片表面的距离信息后,自动对焦系统会根据这个信息驱动镜头进行微调,直到芯片表面的图像在显微镜下达到最清晰的状态。
 


图像采集与分析:


一旦镜头正确对焦,系统会通过显微镜采集芯片表面的图像。这些图像具有极高的分辨率,能够清晰地展示芯片上的微观结构和特征。随后,系统会对这些图像进行处理和分析,以检测芯片上可能存在的缺陷、污染或其他异常。
 


非接触式检测:


整个检测过程是非接触式的,这意味着激光自动对焦显微系统不会对芯片造成任何物理损伤。这种非接触式检测方式非常适合于对高价值、高精度的芯片进行检测。

 

 

Focus激光自动对焦显微系统通过激光测距和自动对焦技术,结合高分辨率的图像采集与分析,实现对芯片表面微观结构和特征的精确检测。这种检测方法不仅快速、准确,而且非接触式,为芯片制造和质量控制提供了强大的技术支持。


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