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3D白光干涉轮廓仪和3D轮廓仪的区别
2024.09.02

在工业检测中有多种多样的测量设备,测量设备与测量设备之前有诸多相似点,例如3D白光干涉轮廓仪和3D轮廓仪。本文将通过工作原理、实际应用和测量精度中两者之间存在的差异。

 

原理:

 

3D白光干涉轮廓仪:基于白光干涉原理进行工作的。它利用光源发出的光经过特定光学元件后形成两束光,一束经被测表面反射,另一束经参考镜反射,这两束光最终汇聚并发生干涉。通过测量干涉条纹的变化,可以精确地测量出物体表面的三维形貌。

 

3D轮廓仪:采用多种不同的技术原理,包括但不限于结构光、激光三角法、相位差法等,这些技术通过不同的方式获取物体表面的三维信息。

 

实际应用:

 

3D白光干涉轮廓仪:因其高精度和非接触式的测量特点,特别适用于对微观表面形貌进行精确测量,如半导体、光学器件等领域。

 

3D轮廓仪:因其多样的技术原理,可以应用于更广泛的场景,包括宏观物体的三维形貌测量、逆向工程、质量检测等。

 

测量精度:

 

3D白光干涉轮廓仪:精度可以达到纳米级甚至亚纳米级。这使得它在需要极高测量精度的应用中表现出色。

 

3D轮廓仪:精度则取决于其采用的具体技术,一般而言,精度在微米级别,但能满足大部分工业检测的需求。

 

 

3D白光干涉轮廓仪和3D轮廓仪在原理、应用和测量精度等方面存在明显的区别。在选择使用哪种设备时,需要根据具体的测量需求、预算以及工作环境等因素进行综合考虑。


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