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白光干涉测膜厚
2024.09.05

白光干涉测膜厚原理:

 

 

白光干涉测膜厚技术是一种基于光的波动性质和干涉原理的高精度测量方法。当白光照射在透明薄膜上时,会在薄膜的上表面和下表面分别产生反射。这两束反射的光波由于存在光程差,会在空间中发生干涉,形成特定的干涉条纹。

 

具体来说,干涉条纹的分布和间距与薄膜的厚度直接相关。通过分析干涉条纹的变化,可以精确计算出薄膜的厚度。这一原理的实现依赖于白光干涉仪,它利用白光光源发出的多色光波与被测物体表面反射或透射的光波相互作用,形成干涉条纹,进而实现高精度测量。

 

对于透明薄膜的厚度测量,白光干涉技术具有独特的优势。由于白光包含多种波长的光波,这些光波在透过薄膜时会产生不同的相移,因此可以通过多波长测量来更准确地确定薄膜的厚度。此外,白光干涉技术还具有非接触性测量的特点,不会对被测物体造成损伤,适用于各种材质的测量。

 

 

白光干涉特点:

 

高精度:白光干涉技术可以达到纳米级甚至亚纳米级的测量精度,适用于对精度要求极高的场合。

快速测量:白光干涉测量速度快,能够实现实时在线测量,大大提高了生产效率。

非接触性:白光干涉技术采用非接触式测量方法,不会对被测物体造成损伤,适用于各种材质的测量。

多波长测量:由于白光包含多种波长的光波,白光干涉技术可以通过多波长测量来更准确地确定被测物体的性质或参数。

灵活性:白光干涉技术可以适应不同形状和大小的物体进行测量,具有很强的灵活性和适用性。

易于操作:白光干涉仪通常具有直观的操作界面和简单的操作流程,使得用户能够轻松掌握和使用。

 

 

普密斯白光干涉测膜厚技术以其高精度、快速、非接触性和多波长测量等特点,在半导体制造、光学涂层、生物医学和材料科学等领域得到了广泛应用。随着科技的进步和制造业的发展,白光干涉技术将继续发挥其在厚度测量和物体表面形貌分析中的重要作用。


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