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白光干涉测量电路板的表面形貌测量解决方案
2024.09.13

在现代电子制造领域,电路板的质量和性能至关重要。而电路板表面形貌的精确测量是评估其质量和可靠性的关键环节之一。白光干涉测量技术作为一种高精度、非接触式的测量手段,为电路板表面形貌的测量提供了一种有效的解决方案。

 

 

白光干涉测量技术原理

 

 

白光干涉测量基于光的干涉原理。当一束白光入射到被测表面时,由于表面的微观起伏,反射光会产生干涉条纹。通过对干涉条纹的分析和处理,可以获取表面的高度信息,从而构建出表面形貌的三维图像。

 

与传统的测量方法相比,白光干涉测量具有极高的垂直分辨率(可达纳米级)和横向分辨率,能够准确地捕捉到电路板表面微小的特征和缺陷。

 

 

测量系统组成

 

  1. 光源:提供宽光谱的白光,以确保在不同波长下都能产生清晰的干涉条纹。

  2. 干涉光路:将入射光和反射光进行干涉,形成干涉条纹。

  3. 探测器:用于接收干涉条纹的光信号,并将其转换为电信号。

  4. 数据采集与处理单元:对探测器输出的电信号进行采集和处理,计算出表面的高度信息。

  5. 运动控制平台:实现对被测电路板的精确移动和定位,确保测量的完整性和准确性。

 

 

测量流程

 

  1. 样品准备:将待测量的电路板进行清洁处理,去除表面的灰尘和杂质,以保证测量结果的准确性。

  2. 系统校准:在测量前,需要对测量系统进行校准,包括光路校准、探测器灵敏度校准等,以消除系统误差。

  3. 测量设置:根据电路板的尺寸和测量要求,设置测量范围、分辨率、扫描速度等参数。

  4. 数据采集:启动测量系统,对电路板表面进行扫描,采集干涉条纹数据。

  5. 数据处理:运用专业的软件对采集到的数据进行处理和分析,去除噪声、拟合表面形貌、计算表面粗糙度等参数。

 

 

在电路板测量中的优势

 

  1. 高精度:能够提供纳米级的测量精度,满足电路板对表面形貌高精度测量的要求。

  2. 非接触式测量:避免了对电路板表面的损伤和污染,同时也不会引入测量力对测量结果的影响。

  3. 快速测量:相比传统测量方法,测量速度更快,能够大大提高生产效率。

  4. 多参数测量:不仅可以测量表面粗糙度,还可以获取表面的轮廓、台阶高度、线宽等多种参数。

 

 

 

普密斯白光干涉测量技术作为一种先进的测量手段,为电路板表面形貌的测量提供了高精度、非接触式、快速、多参数的解决方案。在电子制造行业中,其应用将有助于提高电路板的质量和性能,推动行业的发展和创新。


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