白光干涉轮廓仪是一种高精度的光学测量仪器，主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级非接触式测量。

基本原理：

白光干涉轮廓仪以白光干涉技术为原理，通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。照明光束经半反半透分光镜分为两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置，可以解析出被测样品的相对高度，从而实现对样品表面形貌的精确测量。

产品特点：

1. 高精度：白光干涉轮廓仪具有亚纳米级的显示精度，能够对样品表面进行高精度的测量。

2. 非接触式测量：采用非接触式测量方法，避免了传统接触式测量可能对样品表面造成的损伤。

3. 快速测量：测量速度快，能够在短时间内完成大量样品的测量。

4. 多参数测量：能够自动聚焦测量工件，获取2D、3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

技术参数：

应用领域：

材料科学：用于测量和分析各种材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷等。

光电子学：用于测量薄膜、涂层的厚度以及光学膜的质量等。

微电子学：用于微电子表面分析和MEMS表征等。

机械制造：轮廓、轴向曲率、表面平坦度