光谱共焦传感器，又称彩色共焦传感器，是一种利用光的干涉原理和共焦效应来测量物体表面微小位移和距离的高精度设备。其基本原理是通过光学色散原理建立距离和波长间的对应关系，利用光谱仪解码光谱信息，从而获得位置信息。

白光LED光源发出的光通过光纤耦合器后，经过准直和色散物镜聚焦后发生光谱色散，在光轴上形成连续的单色光交点。每个单色光交点到被测物的距离都不相同。当被测物处于测量范围的某一位置时，只有某一波长的光聚焦在被测物表面，满足共焦条件，从而可以从被测物表面反射回光纤耦合器并进入光谱仪。光谱仪解码得到光强最大处的波长值，进而测得目标对应的距离值。

由于采用了共焦技术，光谱共焦传感器具有良好的层析特性，提高了分辨力，并且对被测物特性和杂散光不敏感。此外，光谱共焦传感器能够在复杂光线环境下保持较高的测量准确性和稳定性，适用于多种应用场景。

玻璃基板孔径测量难点：

玻璃基板由于其脆性和高透明度，使得孔径测量变得尤为困难。

① 玻璃基板的脆性增加了加工和测量的风险，稍有不慎就可能造成破损。

② 玻璃的高透明度使得光线容易穿透，导致反射光信号较弱，增加了测量的难度。

③ 玻璃表面的微小划痕或不平整也会影响测量结果的准确性。

在孔径测量中，需要确保测量的精确性和稳定性。然而，由于玻璃基板的特性，传统的接触式测量方法可能会产生磨损或污染，影响测量结果的准确性。因此，非接触式测量方法成为玻璃基板孔径测量的首选。

普密斯光谱共焦传感器SFS-D8040以其高精度、高分辨率和非接触测量的特点，在玻璃基板孔径测量中展现出了显著的优势。

1. 高精度测量：SFS-D8040的最大线性误差仅为±1.4μm，这一极低的误差值确保了其在微米级精度要求下的卓越表现。即使在玻璃基板孔径的微小变化中，也能提供稳定且高精度的测量数据。

2. 非接触测量：SFS-D8040能够在不直接接触被测物体的前提下进行测量，有效避免了因接触产生的磨损或污染。这对于玻璃基板这种易碎且高透明的材料尤为重要。

3. 宽广的光线角：SFS-D8040的最大光线角为±20.2°，这一参数反映了传感器在接收光线时的角度范围。宽广的光线角使得传感器在复杂光线环境下也能保持较高的测量准确性和稳定性，适用于玻璃基板孔径测量的复杂场景。

4. 高数值孔径：SFS-D8040的数值孔径为0.31，这是衡量传感器光收集能力的重要指标。高数值孔径确保了传感器在弱光或复杂光照条件下依然能捕捉到足够的光线进行精确测量，适用于玻璃基板孔径测量中可能遇到的低反射光信号情况。

5. 配套软件支持：普密斯光谱共焦传感器还配备了CCSVR1.0.2.4等专用软件，界面友好、操作简便且功能强大。支持多种测量模式和数据分析功能，为用户提供了全面的测量解决方案，进一步提高了玻璃基板孔径测量的效率和准确性。

普密斯光谱共焦传感器SFS-D8040以其高精度、高分辨率、非接触测量和宽广的光线角等特点，在玻璃基板孔径测量中展现出了显著的优势。