普密斯工具显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力,和影像测量仪的X、Y、Z轴表面尺寸测量功能,备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。普遍应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通迅、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。本文详细介绍下工具显微镜具体的操作方法。 1、工具显微镜目镜视度调节 进行工具显微镜目镜视度调节即先进行在目镜视场里能观察到清晰的刻线像的调节,如果测量者在目镜视场里得不到清晰的刻线影像,应调节目镜视度圈,使视度与测量者视力相适应,这样便可得到清晰的米字线。 通过调焦手轮移动中央显微镜,在目镜视场里得到清晰的物体轮廓的像,然后移动纵横向工作台进行对线。若测量者眼睛在目镜上下、左右晃动在视场里没有发现物体像和米字线相对移动,则说明被测件正确地成像在米字线分划板上,这时即可进行测量。若物体像与米字线有相对移动,则说明工具显微镜未调焦好,需进一步仔细调焦,使物体像和米字线分划板在同一平面上。 2、对线(压线)方法 对线(压线)就是用米字线和被测件影像轮廓边缘相互重叠,也就是所说的瞄准,对一台具体的工具显微镜来说,工具显微镜的精度是一定的,要使测量精度比较高和可靠,很大程度上取决于正确的对线方法,对线方法有2种:一种是间隙对线法,另一种是重叠对线法。 ①间隙对线法 间隙对线法适用角度测量。在工具显微镜测量角度时,任意一条米字线虚线和被测角度的一边在视场里相靠时,使米字线虚线和被测角度之边缘保持一条狭窄的间隙,测量者就以这条间隙大小的均匀性来判断米字线虚线和被测件影像边缘对准的精确度。 如果不采用上述对线方法,而直接采用和影像边缘重叠的方法,则不但使测量者感到很难对准,而且会增加测量误差。这时因为被测件的轮廓在视场里的影像不是一条细线,而是一个明暗轮廓,同时米字线的刻线已有一定的宽度。如果把它们重叠起来测量,势必产生较大的对线误差,特别是当被测量角度的边比较短时,这种情况就更加严重。所以工具显微镜在角度测量时应采用间隙对线法。 ②重叠对线法 如果工具显微镜在长度测量时,仍然采用上述间隙对线法,将会增加长度测量误差。原因是问隙无法测量而又包含在被测长度量值之中。因此在长度测量时采用重叠对线法。就是把米字线的虚线正好和轮廓影像边缘重叠,使虚线的一半在轮廓影像之内,另一半在影像之外。对线时应以米字线虚线的中央为准,而以其延长部分为参考,工具显微镜可获得准确的测量结果。
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