普密斯光谱共焦位移传感器具有高速度,高精度,对检测环境和材料的高适应性等明显优势,与传统接触式测量方法相比,逐步趋于实时、无损检测,有效满足目前高精密测量的需求。那么光谱共焦位移传感器具体可以做什么呢?
1.粗糙度测量
表面粗糙度是表面质量的重要衡量指标,直接关系到零件的工作性能,因此需要精密的测量。采用光谱共焦位移传感器,非接触式测量,对产品表面没有任何损伤,并且由于纳米精度和优异的角度特性,可以以更高的速度完成粗糙度轮廓的采集。
2.表面轮廓和几何尺寸测量
随着机械加工水平的发展,越来越多的微小复杂工件需要进行轮廓测量及精密尺寸测量,如小圆倒角的测量、小工件内壁沟槽尺寸等的测量。一些精密光学元件也需要进行非接触的轮廓形貌测量,以避免接触测量时划伤光学表面。这些用传统传感器难以解决的测量难题,均可用光谱共焦传感器搭建测量系统以解决。
3.薄膜等透明材质物体厚度测量
光谱共焦位移传感器采用同轴光路设计,对于透明材料物体的厚度有着独特的优势,可以直接通过透明物体的正面和背面测量厚度,测量精度可达微米级,且不会损伤被测表面。
普密斯光谱共焦位移传感器测量时不会存在类似点激光三角法测量光线被遮挡而无法测量的问题,适用于各种工件形貌特征尺寸量测,例如高度、段差、厚度、平面度、轮廓度等。
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