在半导体、医疗设备、精密机械等领域,微小加工件的尺寸精度已进入微米甚至纳米级时代。传统检测技术因镜头畸变、视差误差等问题难以满足需求,而远心镜头凭借独特的光学设计,成为突破亚微米级检测瓶颈的关键工具。
远心镜头通过平行光路设计,使主光线始终与光轴平行,从根本上解决了传统镜头因透视效应导致的近大远小畸变问题。
优势一:零视差测量:物距变化不影响成像尺寸,确保微小特征(如 0.1μm 线宽)的精准测量;
优势二:高景深覆盖:在高倍率下仍保持清晰成像,兼容复杂三维结构检测;
优势三:低畸变率:通过非球面镜片与精密镀膜技术,将几何畸变控制在 0.01% 以内。
1. 多光谱融合:结合可见光与红外光,穿透材料表层检测内部缺陷;
2. 动态补偿系统:通过温度补偿与自动聚焦,适应复杂车间环境;
3. AI 协同算法:实时分析图像特征,自动化缺陷分类与数据追溯。
1. 效率提升:单工位检测速度提高 4 倍,年产能增加 30%;
2. 精度突破:尺寸测量误差从 ±3μm 降至 ±0.8μm,良率提升 2.5%;
3. 成本优化:减少人工干预与返工成本,综合成本降低 40%。
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