Next
工业镜头在半导体检测中的高精度解决方案
白光干涉轮廓仪是什么？
2024.09.18
白光干涉轮廓仪是一种高精度的光学测量仪器，主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级非接触式测量。 白光干涉轮廓仪以白光干涉技术为原理，通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。照明光束经半反半透分光镜分为两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置，可以解析出被测样品的相对高度，从而实现对样品表面形貌的精确测量。 1. 高精度：白光干涉轮廓仪具有亚纳米级的显示精度，能够对样品表面进行高精度的测量。 2. 非接触式测量：采用非接触式测量方法，避免了传统接触式测量可能对样品表面造成的损伤。 3. 快速测量：测量速度快，能够在短时间内完成大量样品的测量。 4. 多参数测量：能够自动聚焦测量工件，获取2D、3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。 材料科学：用于测量和分析各种材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷等。 光电子学：用于测量薄膜、涂层的厚度以及光学膜的质量等。 微电子学：用于微电子表面分析和MEMS表征等。 机械制造：轮廓、轴向曲率、表面平坦度 基本原理：
产品特点：
技术参数：
应用领域：
电话:400-168-8336
传真:+ 86-0769-2266 0857
邮箱:marketing@pomeas.com
公司地址
生产中心：广东省东莞市东城区柏洲边社区涌尾路68号
营销中心：东莞市松山湖高新区中集智谷产业园15栋
苏州办事处：苏州市工业园区唯新路60号启迪时尚科技城40栋
微信二维码