产品介紹
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点光谱共焦测量显微系统（压电）的光谱共焦模块测量与主成像光路共轴，不存在遮挡问题，且对焦检测光斑小，可以对槽、孔、凹坑等区域精准测量，可以与运动控制单元整合实现高速精准对焦
产品优势
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1. 物镜可以选用独立接口，也可以选用6孔鼻轮模组连接;
2. 光谱共焦模块结构简洁，测量精度高、速度快;
3. 最适合对观测面反射率高的表面使用，对透明物体表面同样适用;
4. 对国内外主流物镜均可适配使用
5. 光谱共焦模块测量与主成像光路共轴，不存在遮挡问题，且对焦检测光斑小，可以对槽、孔、凹坑等区域精准测量；
6. 支持微分干涉观测方式。
应用领域
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广泛应用于电子、半导体、面板、设备等行业。测量高度、段差、厚度、平面度，玻璃、陶瓷、镜面金属的轮廓，如手机、PCB、钢化玻璃屏幕保护膜、半导体晶片。
应用领域
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