点光谱共焦测量显微系统适合于测量高度、平面度、段差、轮廓度、厚度等特色功能:显微镜高速自动对焦测应用,是一种可达次级微米级的非接触式位移量测系统
POMEAS激光轮廓传感器采用激光三角反射式原理。移动被测物体或轮廓仪探头,就可以得到一组三维测量值。
彩色共焦位移传感器亦适合于深孔/盲孔工件的量测应用,是一种可达次级微米级的非接触式位移量测系统,对于表面漫反射或镜反射之物体乃至透明材质皆可测量其位移或厚度,基于出光与回传讯号路径同轴之特征。
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