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光谱测厚适用于较厚的涂层,测量范围广且准确度高;而白光干涉测厚则更适用于超薄涂层的测量,具有极高的测量精度。在选择测厚方案时,需要根据具体的测量需求和涂层厚度来选择合适的设备。...
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