点光谱共焦测量显微系统 SFS - M1100是什么?

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2024/11/13

作者:adminBOSS

普密斯点光谱共焦测量显微系统是一种可达次级微米级的非接触式位移量测系统,对于表面漫反射或镜反射之物体乃至透明材质皆可测量其位移或厚度,基于出光与回传讯号路径同轴之特徵,点光谱共焦测量显微系统亦适合于深孔/盲孔工件的量测应用。

 

 

特点一:高精度且适用多种材质的测量能力

 

点光谱共焦测量显微系统 SFS - M1100 属于可达次级微米级的非接触式位移量测系统。这意味着它能够实现极为精细的测量,精度可达到次级微米级别,为对精度要求苛刻的测量任务提供了可靠保障。

更为突出的是,它对于不同反射特性及材质的物体均能有效测量。无论是表面呈现漫反射或镜反射的物体,还是透明材质,该系统都可对其位移或厚度进行精准测量。这种广泛的适用性使其在多种工业及科研领域都能发挥重要作用,无需因物体材质和反射特性的差异而频繁更换测量设备。

 

 

特点二:灵活的物镜连接方式与广泛适配性

 

(1)物镜连接方式多样:该系统的物镜连接具备灵活性,既可以选用独立接口进行连接,又可以选用 6 孔鼻轮模组连接。这种多样化的连接方式能够满足不同用户的使用习惯和具体测量场景的需求。用户可根据实际情况,如测量任务的复杂程度、频繁更换物镜的需求等,选择最为便捷合适的连接方式。

(2)适配主流物镜:SFS - M1100 对国内外主流物镜均可实现适配。这一特点极大地拓展了该系统的应用范围,用户无需担心因物镜品牌或型号的限制而无法使用该测量显微系统。无论是选用国内的优质物镜还是国外知名品牌的物镜,都能与系统完美配合,确保测量工作的顺利开展。

 

 

特点三:高性能的光谱共焦模块

 

(1)结构与精度优势:光谱共焦模块结构简洁,这不仅使得系统整体更为紧凑,便于安装和操作,同时也在一定程度上降低了可能出现故障的概率。更为重要的是,该模块具有测量精度高的特点,能够准确获取测量对象的位移或厚度信息,误差控制在极小范围内。其测量速度也较快,可在短时间内完成大量数据的采集和分析,提高了测量工作的效率。

(2)针对不同表面的适用性:该模块最适合对观测面反射率高的表面使用,能够充分发挥其测量优势,获取精准的数据。同时,对于透明物体表面同样适用,再次体现了其在材质适应性方面的卓越性能。

(3)共轴设计优势:光谱共焦模块测量与主成像光路共轴,这一设计带来了诸多好处。首先,不存在遮挡问题,确保了光路的畅通,使得测量光线能够准确无误地到达测量对象并返回,保证了测量结果的准确性。其次,对焦检测光斑小,凭借这一特性,该系统可以对槽、孔、凹坑等区域进行精准测量。这些复杂区域往往是传统测量设备难以准确测量的部位,而 SFS - M1100 却能凭借其共轴设计和小光斑优势出色完成测量任务。

 

 

特点四:丰富的观测方式与整合能力

 

(1)支持微分干涉观测方式:SFS - M1100 支持微分干涉观测方式,这为用户提供了一种全新的、更为精细的观测视角。通过微分干涉观测,能够更加清晰地看到物体表面的微观结构和细节特征,对于一些需要深入了解物体表面形貌的测量任务尤为重要。

(2)与运动控制单元整合:该系统可以与运动控制单元整合实现高速精准对焦。这种整合能力使得系统在测量过程中能够更加智能、高效地完成对焦操作,进一步提高了测量的精准度和速度。在需要对多个测量点进行快速、准确对焦的复杂测量场景中,这种整合优势将发挥得淋漓尽致。

 

 

普密斯点光谱共焦测量显微系统 SFS - M1100 凭借其高精度、广泛适用性、灵活的物镜连接、高性能光谱共焦模块以及丰富的观测方式与整合能力等诸多特点,在位移量测领域具有显著优势,是一款极具实用价值的测量系统。

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