测量原理
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采用白光光源,将非相干光干涉和高分辨率显微成像技术相结合形成微观三维轮廓,采用不同测量倍率物镜，纵向测量分辨率均可达到亚纳米量级。
产品优势
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1、纳米级纵向分辨率,适合光滑表面测量分析
2、简单、精确、快速、可重复的测量方式
3、可结合共焦显微反射光谱测量
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紧凑的外观设计适用于实验室 和现场应用; |
工件台控制测量图像实时 显示三维结果显示横截面 选取及分析; |
测量和分析软件用户界面直观 易用强大的分析功能 |
应用领域
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产品参数
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