点光谱共焦测量显微系统,测量显微系统,测量系统-普密斯

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点光谱共焦测量显微系统（压电）

点光谱共焦测量显微系统（压电）的光谱共焦模块测量与主成像光路共轴，不存在遮挡问题，且对焦检测光斑小，可以对槽、孔、凹坑等区域精准测量。

点光谱共焦测量显微系统 SFS-M1100

点光谱共焦测量显微系统适合于测量高度、平面度、段差、轮廓度、厚度等特色功能：显微镜高速自动对焦测应用，是一种可达次级微米级的非接触式位移量测系统

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